SUPER TECH ST系列質量流量控制器是新一代工業微機電的產品，采用基于微機電系統（MEMS）的流量傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領域。

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更新時間：2024-11-20

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產品介紹

SUPER TECH ST系列質量流量控制器是新一代工業微機電的產品，采用基于微機電系統（MEMS）的流量傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領域。
ST系列量程覆蓋范圍10sccm-20slpm（氮氣等效），控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。
提供Modbus-RTU（基于RS232或RS485）數字信號或模擬信號（4-20mA或0-5V）通信接口。所需的電源電壓為15-32V。
ST系列緊湊設計只有68mm的長度和80mm的高度，高度是傳統產品尺寸的3/5，并且本產品可以在360°
任意角度下安裝使用。

應用及案例

● 氣相色譜儀

● 配氣儀

● 真空鍍膜

● 泄漏檢測

● 生物發酵

● 食品和制藥

● 實驗室等

SUPER TECH ST系列質量流量控制器產品特點

● 響應時間≤600毫秒

● 控制范圍從 1% 到 100% 滿量程

● ±0.8% 設定點精度