臭氧分析儀由紫外燈，光波過濾器，臭氧吸收池，參考光電傳感器，信號光電傳感器，輸出顯示，電路部件等構成。穩定的紫外燈光源產生紫外線，當氣體樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光(臭氧對253.7nm波長的紫外光有特征吸收)，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌去器再進入吸收池，到達采樣光電傳感器，通過吸收池時被光傳感器檢測的光強度為I0，臭氧樣品通過吸收池時被光檢測器檢測的光強度為I，I/I0為透光率。每經過一個循環周期樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，儀器的微處理系統根據朗伯—比耳定律計算，可得出臭氧濃度。
 

　　臭氧分析儀的校準采用對已生產的臭氧檢測儀進行分布選取10個測試點對比，誤差范圍控制在+1%以內為合格。*化學方法即碘化鉀、硫代硫酸鈉滴定法來檢測臭氧濃度。我們也分布選取10個測試點，然后用臭氧檢測儀與化學滴定法測試的10個點進行對比，誤差范圍控制在+1%以內。碘化鉀滴定法原理是用強氧化劑臭氧與碘化鉀反應，使碘游離出來到水里，水就會變為茶色。
 

　　臭氧分析儀在檢測中應注意的事項：
 

　　1.采樣管材料應選用抗強氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不銹鋼材料也盡量少用,以減少采樣管中臭氧損耗。
 

　　2.采樣管應盡量短,測量低濃度時一般不要超過2m。
 

　　3.從采樣管到檢測儀器,不要漏氣,否則測量值偏低。
 

　　4.檢測較低濃度(如檢測環境)臭氧時,新的聚四氟乙烯管也要充分的進行“臭氧化”,即通過含較高濃度臭氧的氣體來穩定采樣管內壁.日本荏原公司認為要20min以上才能穩定,而美國莫尼特公司要求數小時。
 

　　5.采樣管要定時清洗、吹干.不清潔的采樣管會使測量值偏低很多。
 

　　6.設備要定時進行標定,以保證測量數據可靠。